Thema dieses Vortrags ist der Einfluss von Airborne Molecular Contamination (AMC) auf Prozesssicherheit und -ausbeute. Reinräume werden nach maximalem Prozessfluss und -ausbeute konstruiert, hierbei müssen die engen Bedingungen der Prozessfenster und die Servicefreundlichkeit des Prozessequipments eingehalten werden. Bei strenger Kosten- und Flächenoptimierung stören AMC bei der Reinraumauslegung und in der Produktion durch Ausbeuteminderung. Durch den Einsatz von maßgeschneiderten Lösungen, bestehend aus Filter Fan Units (FFU), HEPA-Filtern und Molekularfiltern, kann die Produktausbeute gezielt erhöht werden.